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English 深圳市矽谷半导体设备有限公司!在封装领域,固晶环节是无法被忽略和替代的环节。固晶环节的品质将直接影响后道封测的产能、良率和制造成本。
传统IC封装精度要求±(20-50um),先进封装精度要求±(3-15)um, 晶圆级的封装需要使用高精度的固晶机。大型的GPU、CPU控制器芯片倾向采用先进封装,其它芯片如电源芯片等多采用传统封装形式。固晶设备上还配备固后AOI视觉检测系统来检测每一块固晶成品质量。此外,还需定期校验系统,以确保标准的精确和数据的一致性。
目前,IC固晶设备依照精度可分为三个等级:超高精度、中高精度、低精度。超高精度固晶机的精度可做到±5um以内,代表品牌Datacon、MRSI、ASM设备。中高精度固晶机,精度约在±25um范围,UPH约在15-20K,主要品牌有ASM、ESEC、日立等。国产IC固晶机的精度±25um以上,UPH在12-15K。相对而言,国产设备在精度和速度与海外设备仍有一定的差距。
矽谷高精度固晶机
开发中高精度固晶设备对团队的综合要求比较高,既要理解芯片的封装工艺POD、BD等,又要理解精密控制、品控和自动化系统软件调试等。此外,研制中高端固晶设备还需要产业生态资源的支持:如健康的零部件供应链、下游客户给予的开发支持及试错机会。
矽谷科技的固晶设备已实现部分的零部件国产化。在硬件的基础上,矽谷又基于客户的配合拿到工艺参数,再借助我们软件算法团队的持续迭代优化,逐渐稳定了设备的精度和效率,目前,矽谷推出的多芯片固晶机、高精度固晶机、点/画胶固晶机等产品已经通过国内一些封装厂验证,并逐渐形成大批量供货。